I settori dei semiconduttori e dell'elettronica sono fondamentali per il continuo sviluppo di tecnologie e innovazioni che stanno trasformando le nostre vite quotidiane. Smartphone, PC, dispositivi per videogiochi e altro ancora sono alcuni dei componenti tecnologici più potenti e complessi mai sviluppati. Il cuore di questa tecnologia sono dei componente piccolissimi: i microchip. Nonostante siano minuscoli, questi chip sono tra i componenti più complessi attualmente esistenti e la loro produzione richiede un processo di produzione altamente sensibile.
La produzione di semiconduttori è uno dei settori in più rapida evoluzione al mondo, con nuovi prodotti che richiedono continuamente velocità maggiori e specifiche più elevate. Questo processo ha bisogno di una fornitura affidabile e costante di vuoto. Il vuoto domestico pulito e costante è necessario per le operazioni di test, stoccaggio, prelievo e posizionamento, e confezionamento all'interno del settore. Per questo motivo, la scelta della giusta pompa per vuoto è fondamentale per il processo di produzione.
La necessità del vuoto nella produzione di semiconduttori
Il vuoto domestico viene utilizzato per tutte le operazioni di prelievo e posizionamento e di gestione di qualsiasi processo di produzione di "circuiti integrati", come la manipolazione, il taglio, la formatura e il test, etc. Poiché un chip di semiconduttori include numerosi componenti, la necessità di realizzare semiconduttori con precisione è essenziale e il vuoto è fondamentale in ogni fase della produzione.
Il livello di vuoto è compreso tra 100 e 400 mbar ass. per garantire il giusto livello in ogni attrezzatura e garantire l'assenza di contaminazioni da riflusso. Una fabbrica di semiconduttori può richiedere un flusso da 2.000 a 8.000 m3/h, ma uno stabilimento di produzione più grande può richiedere più di 12.000 m3/h. Gli stabilimenti sono operativi 24 ore su 24, 7 giorni su 7 ed è pertanto necessario un vuoto domestico ininterrotto. Pertanto, ridondanza e affidabilità sono dei must.
Pompe per vuoto ad alta efficienza energetica di Atlas Copco per il settore dei semiconduttori
La pompa per vuoto rotativa a vite GHS VSD⁺ di Atlas Copco è una scelta molto diffusa nel settore dei semiconduttori perché VSD+ è molto più di un variable speed drive, ossia un "azionamento a velocità variabile". L'unità GHS VSD+ è dotata di un controller logico proprietario e di un software che garantiscono un livello di vuoto costante per tutta la fabbrica. La nostra pompa per vuoto intelligente è un modello leader nell'innovazione green e riduce il consumo di energia in modo significativo, riducendo l'impatto ambientale e favorendo la sostenibilità.
Atlas Copco offre inoltre la gamma completa di pompe per vuoto a lobi a secco VSD e pompe per vuoto ad anello liquido LRP VSD+. I loro design durevoli e collaudati si adattano bene alle operazioni di piccole dimensioni, per la sostituzione diretta di pompe esistenti o quando è più importante un costo di acquisto inferiore rispetto al costo totale del ciclo di vita. La gamma di capacità e la tecnologia VSD+ di tutte le pompe per vuoto Atlas Copco le rendono ideali per i sistemi per vuoto centralizzati, compreso il vuoto domestico delle fabbriche di semiconduttori.
Sfrutta gli innovativi sistemi di ritenzione dell'olio di Atlas Copco
In una rete di vuoto domestico, le molecole d'aria viaggiano in direzione della pompa per vuoto e, al livello di vuoto progettato, la densità del flusso è ancora notevole. Per questo motivo, le molecole di olio e l'umidità non possono migrare verso il processo. Le pompe per vuoto sono spesso collocate lontano dalle sale di produzione, in un locale dedicato. In questo modo è possibile scegliere liberamente la tecnologia della pompa senza preoccuparsi della contaminazione di idrocarburi della rete. Tuttavia, è necessario prestare attenzione all'ambiente sul lato di scarico delle pompe per vuoto.
Le pompe per vuoto di Atlas Copco, come la gamma di pompe per vuoto rotative a vite GHS VSD+ con guarnizione a olio, sono dotate di sistemi di ritenzione dell'olio di qualità eccellente. Se necessario, è possibile montare ulteriori sistemi di filtrazione sullo scarico della pompa, per garantire che non venga aggiunta alcuna contaminazione all'atmosfera, e sofisticati sistemi di circolazione dell'aria/filtrazione intorno alla fabbrica.
Se è necessario utilizzare una pompa per vuoto con tecnologia a secco certificata Classe 0, Atlas Copco offre la linea di pompe per vuoto a lobi a secco DZS VSD+.
Per livelli di vuoto costanti
Le fabbriche di semiconduttori hanno sempre avuto problemi con il vuoto domestico a causa delle significative fluttuazioni del livello di vuoto. Le prestazioni delle pompe convenzionali si degradano a causa dell'usura e delle condizioni ambientali, come le variazioni di temperatura.
Il design della vite rotante con lubrificazione a olio GHS VSD+ di Atlas Copco mantiene prestazioni costanti indipendentemente dalle condizioni ambientali. Qualsiasi velocità sia desiderabile per il processo è sempre disponibile. Dotata della tecnologia VSD+ di Atlas Copco, l'unità GHS VSD+ accelera e rallenta automaticamente per soddisfare le diverse esigenze di vuoto, mantenendo il punto di regolazione richiesto con la massima efficienza.
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DZS VSD⁺ - Pompa per vuoto a camme a secco (Velocità variabile)
Le pompe per vuoto Atlas Copco hanno sempre offerto costi del ciclo di vita inferiori, prestazioni superiori, minor consumo energetico e facilità di manutenzione. Ora, la pompa per vuoto intelligente DZS VSD⁺ offre tutto questo e molto altro ancora. Basti pensare all'intelligenza, all'ottimizzazione, a una pompa plug & play, alla digitalizzazione e a un'app mobile.
